مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح

مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح

مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح

اليپسومتري يک روش حساس و بسيار دقيق نوري مي باشد که در حدود صد سال است که براي بدست آوردن اطلاعاتي راجع به سطوح استفاده مي شود. اين روش بر پايه اين واقعيت شکل گرفته است که حالت پلاريزاسيون نور، هنگامي که اشعه نور از يک سطح منعکس مي شود، ممکن است تغيير کند. اگر سطح با يک لايه نازک ( يا يک دسته از لايه هاي نازک ) پوشيده شده باشد، سيستم نوري لايه و زيرلايه ها بر روي پلاريزاسيون نور اثر مي گذارد.  با استفاده از همين مساله است که  مي توان اطلاعاتي راجع به خواص و ويژگيهاي سطح بدست آورد، بويژه مي توان ضخامت لايه هاي مورد نظر را محاسبه کرد.